В Новосибирске создан 257-нанометровый лазер для печати микросхем, у которого нет аналогов в России. Он использует в работе УФ-излучение и является заменителем американского лазера компании Coherent.

Новый российский лазер, как и его иностранные аналоги, используются для одних и тех же целей – для печати фотошаблонов. В свою очередь эти фотошаблоны в дальнейшем применяются для нанесения рисунка на кремниевые пластины.

Новый лазер – это особый программно-аппаратный комплекс. В плане аппаратного оснащения это симбиоз из непосредственно лазера мощностью 10-30 мВт (милливатт) и волоконного усилителя.Предназначение последнего становится понятно уже из его названия. В творении «Оптических технологий» он используется для многократного увеличения мощности энергии лазера – с базовых 10-30 мВт до 15 Вт. В дополнение к перечисленному в составе лазера есть специальный кристалл. Он служит для преобразования частоты лазерного света.

Итоговая конструкция отличается очень незначительным расходом энергии, за счет чего снижаются затраты на электричество и повышается общая эффективность производства.

Возврат к списку